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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：一种天线包括：内结构；外结构；以及将内结构耦合到外结构的多个互连结构。该多个互连结构关于天线的中心是轴对称的。每个互连结构具有至少30度的方位角分量。
主权项：1.一种用于等离子体加工的天线，该天线包括：内结构；外结构；以及将该内结构耦合到该外结构的多个互连结构，该多个互连结构关于该天线的中心是轴对称的，并且每个互连结构具有至少30度的方位角分量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 用于等离子体加工的设备
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