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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：描述了用于在等离子体室内温度的实时控制的系统和方法。该方法中的一者包含实时感测耦合至电压源的轨的电压。电压源供给电压至等离子体室的多个加热器元件。所感测的电压用于调整加热器元件中的对应的一或更多个的一或更多个工作周期。经调整的一或更多个工作周期促进随着时间的推移在等离子体室内实现和维持温度值。
主权项：1.一种系统，其包括：加热器阵列，其配置为经由轨与电压源耦合，其中所述加热器阵列包括多个加热器元件；以及多路复用器，其耦合到所述加热器阵列，其中所述多路复用器配置为：接收在所述轨处感测到的经测量的电压；以及基于所述经测量的电压和由所述电压源提供的标称电压，调整所述多个加热器元件的多个工作周期。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 等离子体室中温度的实时控制
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