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申请/专利权人：日新离子机器株式会社
摘要：本发明提供离子束引出用电极、离子源和引出电极系统，能够抑制堆积物向引出电极系统的堆积，并且能够消除伴随于此的各种问题。离子束引出用电极具备：第一构件，形成有供离子束通过的离子束通过孔20h；第二构件，与第一构件对置配置，并且形成有离子束通过孔20h；加热器50，至少一部分配置在第一构件与第二构件之间；以及气体阻断构件60，阻断气体从离子束通过孔20h流动到第一构件与第二构件之间。
主权项：1.一种离子束引出用电极，其特征在于具备：第一构件，形成有供离子束通过的离子束通过孔；第二构件，与所述第一构件对置配置，并且形成有所述离子束通过孔；加热器，至少一部分配置在所述第一构件与所述第二构件之间；以及气体阻断构件，阻断气体从所述离子束通过孔流动到所述第一构件与所述第二构件之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日新离子机器株式会社 离子束引出用电极、离子源和引出电极系统
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