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一种压电驱动式高带宽直线振动台及其组装方法 

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申请/专利权人:西安艾科智动科技有限公司

摘要:本发明公开了一种压电驱动式高带宽直线振动台及其组装方法,包括:底座,包含底板、位于所述底板中央的凸台、中央螺纹通孔、位于凸台周边的通过第一柔性铰链连接的若干压电叠堆支承块;一体式柔性铰链导轨,包含中央方形的运动平台、对称分列于运动平台四个外侧面的柔性铰链单元和四个外侧固定壁,所述固定壁与所述底座的底板连接;压电叠堆,其下端与所述压电叠堆支承块的上面连接,上端与所述一体式柔性铰链导轨的运动平台连接;楔形调整块,位于所述凸台与所述压电叠堆支承块之间的夹缝内;碟簧组,位于所述运动平台顶部中央的凹槽内;预紧杆,下端通过螺纹与所述底座连接,上端通过凸缘将所述碟簧组预紧;锁紧螺钉,其外螺纹与所述预紧杆下端内螺纹配合并通过锥面将所述预紧杆锁紧。本发明提出的直线振动台精度高、带宽高、承载能力大,结构紧凑,零件少且便于加工制造及组装。

主权项:1.一种压电驱动式高带宽直线振动台,其特征在于,所述振动台包括:底座,包含底板、凸台、螺纹通孔、压电叠堆支承块和第一柔性铰链,所述凸台位于所述底板中央,所述螺纹通孔位于所述凸台中央,所述若干个压电叠堆支承块位于所述凸台周边并分别通过所述第一柔性铰链与所述凸台连接;一体式柔性铰链导轨,包含运动平台、柔性铰链单元、固定壁、凹槽和槽口,所述运动平台为方形,其四个外侧面均对称布列所述柔性铰链单元和四个最外侧所述固定壁,所述凹槽位于所述运动平台顶部中央,所述一体式柔性铰链导轨的四个侧面均开设有贯通的所述槽口;压电叠堆,其下端与所述压电叠堆支承块的上面连接,上端与所述一体式柔性铰链导轨的运动平台连接;楔形调整块,位于所述凸台与所述压电叠堆支承块之间的夹缝内;碟簧组,位于所述运动平台顶部中央的所述凹槽内;预紧杆,下端通过螺纹与所述底座连接,上端通过凸缘将所述碟簧组压紧;锁紧螺钉,其外螺纹与所述预紧杆下端内螺纹。

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权利要求:

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