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申请/专利权人：上海集成电路材料研究院有限公司
摘要：本申请提供一种电化学腐蚀设备和电化学腐蚀的方法，该电化学腐蚀设备包括：槽体，其容纳电化学腐蚀所用的腐蚀液；在所述槽体内部设置的电化学腐蚀机构，所述电化学腐蚀机构包括阴极、阳极、阴极夹具、阳极夹具、基板夹具、阴极卡槽、阳极卡槽以及基板夹具卡槽，所述基板夹具卡槽设置在所述阴极和所述阳极之间；在所述槽体外部设置的与所述槽体内部连通的液体循环机构，所述液体循环机构包括管路，在所述槽体上设置的入液口和出液口以及在所述管路中设置的液体循环泵；以及电源，其向所述阴极和所述阳极间电力，所述电源的正极连接所述阳极，所述电源的负极连接所述阴极。本申请能够提高腐蚀的均匀性。
主权项：1.一种电化学腐蚀设备，包括：槽体，其容纳电化学腐蚀所用的腐蚀液；在所述槽体内部设置的电化学腐蚀机构，所述电化学腐蚀机构包括阴极、阳极、阴极夹具、阳极夹具、基板夹具、阴极卡槽、阳极卡槽以及基板夹具卡槽，所述基板夹具卡槽设置在所述阴极和所述阳极之间；在所述槽体外部设置的与所述槽体内部连通的液体循环机构，所述液体循环机构包括管路，在所述槽体上设置的入液口和出液口以及在所述管路中设置的液体循环泵；以及电源，其向所述阴极和所述阳极间电力，所述电源的正极连接所述阳极，所述电源的负极连接所述阴极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路材料研究院有限公司 电化学腐蚀设备和电化学腐蚀的方法
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