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申请/专利权人:惠然微电子技术(无锡)有限公司
摘要:本申请公开了一种用于确定扫描电镜图像周期的方法、设备和存储介质。所述方法包括:对原始扫描电镜图像进行扩充,利用傅里叶变换获取扩充后的原始扫描电镜图像在目标方向上所有的周期值;基于所述周期值将所述原始扫描电镜图像沿所述目标方向移动一个周期,以获得对应的目标扫描电镜图像;获取对应的所述目标扫描电镜图像与所述原始扫描电镜图像之间的绝对误差和图像,并确定所述绝对误差和图像的均值;以及根据所述均值和预设均值确定扫描电镜图像在所述目标方向的最终周期值。利用本申请的方案,可以提高周期值的精确性和稳定性。
主权项:1.一种用于确定扫描电镜图像周期的方法,包括:对原始扫描电镜图像进行扩充,利用傅里叶变换获取扩充后的原始扫描电镜图像在目标方向上所有的周期值;基于所述周期值将所述原始扫描电镜图像沿所述目标方向移动一个周期,以获得对应的目标扫描电镜图像;获取对应的所述目标扫描电镜图像与所述原始扫描电镜图像之间的绝对误差和图像,并确定所述绝对误差和图像的均值;以及根据所述均值和预设均值确定扫描电镜图像在所述目标方向的最终周期值。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 惠然微电子技术(无锡)有限公司 一种用于确定扫描电镜图像周期的方法、设备和存储介质
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