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一种键合机减振结构及键合机 

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申请/专利权人:无锡奥特维科技股份有限公司

摘要:本申请公开了一种键合机减振结构及键合机,其包括运动部、机架及减振装置,其中:运动部位于机架的上方并与机架传动连接,运动部包括运动机构和承载机构,承载机构用于承载运动机构,运动机构用于装配及带动键合头移动;减振装置包括缓冲机构、外引机构和阻尼机构,缓冲机构位于承载机构和机架之间,外引机构的第一端与承载机构连接,外引机构的第二端通过阻尼机构与机架传动连接。本申请提出的键合机减振结构通过缓冲机构减小运动部在高度方向上对机架的运动反力,同时通过外引机构和阻尼机构间的配合,减小运动部在水平方向上对机架的运动反力,从而减小设备整体振动以实现整个设备的动平衡,进而避免地基振动,防止对周围其他设备产生影响。

主权项:1.一种键合机减振结构,其特征在于,所述键合机减振结构包括运动部、机架及减振装置,其中:所述运动部位于所述机架的上方并与所述机架传动连接,所述运动部包括运动机构和承载机构,所述承载机构位于所述运动机构的下方并用于承载所述运动机构,所述运动机构被配置为装配及带动键合头移动;所述减振装置包括缓冲机构、外引机构和阻尼机构,所述缓冲机构设置于所述承载机构和所述机架之间,并分别与所述承载机构和所述机架连接,所述外引机构的第一端与所述承载机构固定连接,所述外引机构的第二端通过所述阻尼机构与所述机架传动连接。

全文数据:

权利要求:

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