买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：北京东方计量测试研究所

摘要：本发明涉及一种基于质谱计比较法测量10‑8～10‑11m3s分子流导的装置及方法，包括进气管路、比较管路、待测管路、质谱分析管路和抽真空管路。进气管路包括气源、与气源连接的第一阀门和第二阀门；比较管路包括第一稳压室、第一真空计、第三真空计和参考流导元件；待测管路包括第二稳压室、第二真空计、第四真空计、第五真空计和待测流导元件；质谱分析管路包括质谱分析室、限流元件、四极质谱计和第六真空计；抽真空管路包括第一分子泵、第二分子泵、第一干泵和第二干泵。本发明，利用四极质谱计的线性，通过已知相对较大分子流导值的流导元件作为参考标准，实现10‑8～10‑11m3s的流导元件的分子流导值的测量。

主权项：1.一种基于质谱计比较法测量10-8～10-11m3s分子流导的装置，其特征在于，包括进气管路、比较管路、待测管路、质谱分析管路和抽真空管路，所述进气管路包括气源Gas、用于向所述比较管路供气的第一阀门V1和用于向所述待测管路供气第二阀门V2，所述比较管路与所述待测管路并联接入所述进气管路；所述比较管路包括第一稳压室VC1以及与所述第一稳压室VC1连接的第一真空计G1、第三真空计G3和参考流导元件CR，所述第一真空计G1通过第三阀门V3与所述第一稳压室VC1连接，所述参考流导元件CR通过第九阀门V9与所述第一稳压室VC1连接；所述待测管路包括第二稳压室VC2以及与所述第二稳压室VC2连接的第二真空计G2、第四真空计G4、第五真空计G5和待测流导元件CT，所述第二真空计G2通过第十一阀门V11与所述第二稳压室VC2连接，所述待测流导元件CT通过第十阀门V10与所述第二稳压室VC2连接；所述质谱分析管路包括质谱分析室VC3以及与所述连接质谱分析室VC3的限流元件C1、四极质谱计QMS和第六真空计G6，所述质谱分析室VC3通过管路与所述参考流导元件CR和所述待测流导元件CT连接，所述四极质谱计QMS通过第十二阀门V12与所述质谱分析室VC3连接；所述抽真空管路包括第一分子泵TMP1、第二分子泵TMP2、第一干泵DP1和第二干泵DP2；所述第一分子泵TMP1和所述第一干泵DP1用于对所述第一稳压室VC1和所述第二稳压室VC2抽真空，所述第二分子泵TMP2和所述第二干泵DP2用于对所述质谱分析室VC3抽真空；所述第一分子泵TMP1和所述第一干泵DP1通过第四阀门V4、第六阀门V6和第七阀门V7接入所述比较管路，通过第五阀门V5、所述第六阀门V6和第八阀门V8接入所述待测管路；所述第二分子泵TMP2和所述第二干泵DP2通过第十三阀门V13与所述限流元件C1连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京东方计量测试研究所 基于质谱计比较法测量（10^-8~10^-11）m³/s分子流导的装置及方法