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申请/专利权人：蒙城繁枫真空科技有限公司

摘要：本发明涉及蒸发镀膜技术领域，涉及一种线性蒸发源设备技术领域。包括一种线性蒸发源设备驱动组件，所述驱动组件的若干个移动端顶部均安装有连接机构，且连接机构的内部和连接端分别安装有蒸发组件和盖板组件。本发明通过若干个蒸发组件可对不同的材料加热蒸发，驱动组件可带动若干个蒸发组件沿环形导轨移动调节位置，喷头组件在调节组件的调节下可在所处位置进行上下升降运动，从而在驱动组件与调节组件的配合下可让喷头组件与若干个蒸发组件一一进行组合，能够让基材在所处位置镀上多种不同膜，吸尘组件可在喷头组件与下个蒸发组件组合前对连接管内剩余蒸发物进行吸收，有效避免了不同蒸发物之间的混合，保证了镀膜的纯净性和一致性。

主权项：1.一种线性蒸发源设备，包括驱动组件（1），其特征在于：所述驱动组件（1）的若干个移动端顶部均安装有连接机构（2），且连接机构（2）的内部和连接端分别安装有蒸发组件（3）和盖板组件（4），驱动组件（1）用于驱动若干个蒸发组件（3）调节位置，若干个蒸发组件（3）用于蒸发不同的镀膜材料，且连接机构（2）配合盖板组件（4）用于控制蒸发组件（3）的开合，所述驱动组件（1）内设置有调节组件（5），且调节组件（5）的调节端底部安装有吸尘组件（6），且吸尘组件（6）一端安装有喷头组件（7），吸尘组件（6）用于清理喷头组件（7）内残留蒸发物，调节组件（5）的调节端用于控制喷头组件（7）与蒸发组件（3）进行插拔组合，所述蒸发组件（3）包括缸体（31），且缸体（31）的底部开设有密封槽（33），且密封槽（33）的顶部内壁开设有连接口（32），所述喷头组件（7）包括外壳（71）和连接管（711），且连接管（711）外表套接有密封块（713），连接管（711）裸露部分用于与连接口（32）形成插接配合，密封块（713）用于与密封槽（33）进行适当的过盈配合，所述外壳（71）的外表开设有螺纹口（712），连接管（711）外表开设有与螺纹口（712）相通的清理口（714），所述调节组件（5）包括气缸（52），且气缸（52）用于升降调节端，所述吸尘组件（6）包括吸尘软管（63），且吸尘软管（63）的一端通过万向旋转接头连接有吸尘头（65），且吸尘头（65）螺接于螺纹口（712）内。

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