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申请/专利权人：霍尼韦尔国际公司
摘要：本发明公开了一种感测管芯，该感测管芯包括具有感测膜片的芯片、由膜片支撑的一个或多个感测元件、由芯片的第一侧面支撑的一个或多个接合焊盘、设置在芯片的第一侧面上的结构框架、以及延伸穿过结构框架的一个或多个电触点。一个或多个接合焊盘中的每一者电耦合到一个或多个感测元件中的至少一者。结构框架至少部分地围绕膜片设置，并且一个或多个电触点电耦合到一个或多个接合焊盘。
主权项：1.一种感测管芯100，包括：芯片，所述芯片包0括感测膜片102；一个或多个感测元件120,122,124,126，所述一个或多个感测元件由所述感测膜片102支撑；一个或多个接合焊盘130,132,134,136，所述一个或多个接合焊盘由所述芯片的第一侧面103支撑；结构框架104，所述结构框架设置在所述芯片的所述第一侧面103上；和一个或多个电触点106，所述一个或多个电触点延伸穿过所述结构框架104，其中所述一个或多个电触点106电耦合到所述一个或多个接合焊盘130,132,134,136；其中在所述感测管芯100的一个侧面周围形成所述结构框架104，以确定所述感测膜片102距离衬底502,602的表面的偏移高度140，其中控制所述偏移高度140允许所述衬底502,602在过度力条件期间避免损坏。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 霍尼韦尔国际公司 通过感测管芯设计实现过度力控制
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