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申请/专利权人：苏州赛森电子科技有限公司
摘要：本申请公开了一种晶圆清洗装置，涉及半导体制造技术领域，包括：晶圆；第一底座，第一底座设置在晶圆的四角；第一驱动件，第一驱动件上端设置有第一凹槽；第二底座；第二驱动件，第二驱动件上端设置有第二凹槽；驱动装置；定位件，定位件设置在第二驱动件两侧，通过设置第一驱动件和第一凹槽将晶圆四周夹持，设置第二驱动件和第二凹槽将晶圆两侧夹持，设置定位件当晶圆的平边转到第一驱动件和第二驱动件之间时，定位件代替第一驱动件和第二驱动件进行定位，阻止晶圆发生偏移，解决晶圆在清洗时位置会偏移的问题，可以使晶圆在清洗时位置不会偏移。
主权项：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：晶圆；第一底座，所述第一底座设置在所述晶圆的四角；第一驱动件，所述第一驱动件设置在所述第一底座上方，所述第一驱动件与所述第一底座活动连接，所述第一驱动件设置为圆柱形，所述第一驱动件上端设置有第一凹槽；第二底座，所述第二底座设置在所述晶圆两侧，所述第二底座与所述第一底座连接，所述第二底座位于所述第一底座中心点的外侧；第二驱动件，所述第二驱动件设置在所述第二底座中部上端，所述第二驱动件上端设置有第二凹槽；驱动装置，所述驱动装置连接所述第一驱动件和所述第二驱动件；定位件，所述定位件设置在所述第二驱动件两侧，所述定位件上端为圆柱形，所述定位件高度与所述第一底座和所述第二底座相同，所述定位件位于所述第二底座的中心点的内侧，所述定位件位于所述第一底座的中心点的外侧；所述第一驱动件上的所述第一凹槽夹持所述晶圆四角，所述第二驱动件上的所述第二凹槽夹持所述晶圆两边，启动所述驱动装置，所述第一驱动件和所述第二驱动件同向旋转带动所述晶圆旋转，所述晶圆旋转至第一位置时所述定位件旋转。
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权利要求：
百度查询： 苏州赛森电子科技有限公司 一种晶圆清洗装置
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