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一种紫外灯管的补充结构和一种紫外灯室 

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申请/专利权人:拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司

摘要:本发明公开了一种紫外灯管的补充结构和一种紫外灯室。紫外灯管的补充结构包括:补充部,位于灯管本体的两侧的尾端,用以提供补充紫外光;以及限位部,设于所述补充部的尾端,用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体。通过上述紫外灯管的补充结构,能够增强紫外灯管的边缘光强,从而提升紫外灯管的整体光照均匀性,有利于提升工艺效果的均匀性。

主权项:1.一种紫外灯管的补充结构,其特征在于,包括:补充部,位于灯管本体的两侧的尾端,用以提供补充紫外光;以及限位部,设于所述补充部的尾端,用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体。

全文数据:

权利要求:

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