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申请/专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
摘要：本公开提供一种用于处理工件的等离子体处理设备。在一个示例性实施例中，用于处理工件的等离子体处理设备包括处理腔室、与处理腔室分开的等离子体腔室、以及配置为在等离子体腔室中生成等离子体的感应耦合等离子体源。该设备包括设置在处理腔室内的基座，该基座配置为支撑工件。该设备包括设置在等离子体腔室中的插入件，该插入件可移动到等离子体腔室内的一个或多个竖直位置。该设备包括控制系统，该控制系统通信地耦合到插入件，以将插入件移动到等离子体腔室内的一个或多个竖直位置。本公开还提供了用于处理工件的方法。
主权项：1.一种用于处理工件的等离子体处理设备，所述等离子体处理设备包括：处理腔室；等离子体腔室，与所述处理腔室分开；感应耦合等离子体源，配置成在所述等离子体腔室中生成等离子体；基座，设置在所述处理腔室内，所述基座配置成支撑工件；插入件，设置在所述等离子体腔室中，所述插入件能够移动到所述等离子体腔室内的一个或多个竖直位置；以及控制系统，通信地耦合到所述插入件，以将所述插入件移动到所述等离子体腔室内的一个或多个竖直位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京屹唐半导体科技股份有限公司 玛特森技术公司 具有可移动插入件的等离子体剥离工具
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