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申请/专利权人：PSK控股公司;塞米吉尔公司
摘要：本发明提供一种冷却基板的基板冷却装置。本发明的实施例的基板冷却装置包括：卡盘，供放置基板；冷却单元，用于冷却所述卡盘，所述冷却单元包括：散热板，在上面放置所述卡盘，并散发所述卡盘的热。
主权项：1.一种基板冷却装置，涉及一种冷却基板的装置，其特征在于，包括：卡盘，供放置基板；冷却单元，用于冷却所述卡盘，所述冷却单元包括：散热板，在上面放置所述卡盘，并散发所述卡盘的热，内盖，在所述内盖的底面壁的上面支撑所述散热板，并且所述底面壁以上下方向移动；以及冷却部件，提供至所述内盖的底面壁的下面并且冷却所述内盖。
全文数据：
权利要求：
百度查询： PSK控股公司 塞米吉尔公司 基板冷却装置及方法
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