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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本发明公开了一种用于真空腔室的顶针升降装置及等离子刻蚀系统，包括多个顶针和一个顶针安装座；顶针安装座包括底板和多个限位块；底板上开设有多个与顶针通过孔一一对应的盲孔；每个盲孔内嵌入安装有若干叠加放置的弹性圈；弹性圈的内径小于顶针的直径，且若干弹性圈的下端面与盲孔底部相接，若干弹性圈叠加后的高度不低于盲孔高度；多个限位块可拆卸固定在底板上，且每个限位块的下表面一一对应压接一个盲孔内的若干弹性圈的上端面；每个限位块上设置有一个导向通孔；每个顶针穿过一个盲孔内的弹性圈及对应限位块的导向通孔。本发明将顶针固定并精确导向对中，降低了顶针与顶针通过孔摩擦断裂的可能性，防止压差引起的飞针。
主权项：1.一种用于真空腔室的顶针升降装置，包括升降驱动机构（1）、多个顶针（2）和一个顶针安装座（3）；所述多个顶针（2）安装在顶针安装座（3）上，所述升降驱动机构（1）用于驱动顶针安装座（3）及顶针（2）升降；所述真空腔室（4）内设置有载物台（6）；所述载物台（6）上设置有多个顶针通过孔；所述多个顶针（2）升降时，一一对应穿过顶针通过孔；其特征在于：所述顶针安装座（3）包括底板（301）和多个限位块（302）；所述底板（301）上开设有多个与顶针通过孔一一对应的盲孔（301a）；每个所述盲孔（301a）内嵌入安装有若干叠加放置的弹性圈（301b）；所述弹性圈（301b）的内径小于顶针（2）的直径，且若干弹性圈（301b）的下端面与盲孔（301a）底部相接，若干弹性圈（301b）叠加后的高度不低于盲孔（301a）高度；所述多个限位块（302）可拆卸固定在底板（301）上，且每个限位块（302）的下表面一一对应压接一个盲孔（301a）内的若干弹性圈（301b）的上端面；每个所述限位块（302）上设置有一个导向通孔（302a）；所述顶针通过孔、盲孔（301a）、弹性圈（301b）和导向通孔（302a）同轴心线；每个所述顶针（2）穿过一个盲孔（301a）内的弹性圈（301b）及对应限位块（302）的导向通孔（302a），所述弹性圈（301b）的外径不小于盲孔（301a）内径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种用于真空腔室的顶针升降装置及等离子刻蚀系统
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