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申请/专利权人：威士精密工具(上海)有限公司
摘要：本发明涉及一种沉积在立方氮化硼刀具表面的复合涂层及沉积方法，复合涂层包括由刀具基体侧往外侧依次沉积的多个子涂层，每个子涂层至少包括由刀具基体侧往外侧依次沉积的Al‑Cr‑N层、中间过渡层和Al‑Cr‑O复合氧化层；Al‑Cr‑N层为AlxCr1‑xN层，其中，0.1≤x≤0.3，中间过渡层为AlCrN‑AlCrON‑AlCr2O3过渡层；Al‑Cr‑O复合氧化层为AlyCr1‑y2O3层，其中0.1≤y≤0.3。解决了高速干切削工况下刀具在切削热量积累而形成的高温作用下而发生的快速磨损，提高了刀具寿命。
主权项：1.在立方氮化硼刀具表面采用物理气相沉积方法沉积复合涂层的方法，其特征在于，其中复合涂层包括由刀具基体侧往外侧依次沉积的多个子复合涂层，每个子复合涂层至少包括由刀具基体侧往外侧依次沉积的Al-Cr-N层、中间过渡层和Al-Cr-O复合氧化层；Al-Cr-N层为AlxCr1-xN层，其中，0.1≤x≤0.3，中间过渡层为AlCrN-AlCrON-AlCr2O3过渡层；Al-Cr-O复合氧化层为AlyCr1-y2O3层，其中0.1≤y≤0.3；包括如下步骤：第一步，清洗，去除刀具基材表面的水基和或碳氢基污染物；第二步，升温，抽真空，去除刀具焊缝部位的气体杂质；第三步，等离子蚀刻，对刀具基材进行活化处理；第四步，升温，通氮气，使用AlCr复合靶材，采用直流多弧方法，在刀具基材上沉积形成AlxCr1-xN层；第五步，逐步减小氮气流量直至0，同时氧气流量从0逐步增加，通氩气，开启高频高能脉冲磁控电源，采用非平衡磁控结合不对称高频脉冲方法，不对称高频脉冲的正向脉冲和负向脉冲宽度比例为1:9～1:20，在AlxCr1-xN层表面形成AlCrN-AlCrON-AlCr2O3的中间过渡层；第六步，持续通氧气，继续采用非平衡磁控结合不对称高频脉冲方法，在中间过渡层表面形成AlyCr1-y2O3层；第七步，重复第四步至第六步，直到刀具基材上的复合涂层的厚度达到预设厚度。
全文数据：
权利要求：
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