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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种辊的异常检测方法及研磨装置，对向保持环传递局部载荷的辊的异常进行检测。其中，使具备头主体11和保持环20的研磨头10旋转，该头主体具有按压基板W的按压面45a，该保持环被配置为包围按压面45a，使固定于保持环20且具有多个辊52的旋转环51与研磨头10一同旋转，且一边对配置在旋转环51上的静止环施加局部载荷，一边测定用于使研磨头10旋转的转矩，生成表示用于使研磨头10旋转的转矩的测定值与转矩的测定时间的关系的转矩波形，对转矩波形进行傅立叶变换处理而决定转矩波形的频率成分的强度，在决定的频率成分的强度比规定的阈值大时，判断为多个辊52中的至少一个存在异常。
主权项：1.一种辊的异常检测方法，其特征在于，使研磨头旋转，该研磨头具备头主体和保持环，该头主体具有按压基板的按压面，该保持环被配置为包围所述按压面，使固定于所述保持环且具有多个辊的旋转环与所述研磨头一同旋转，并且一边对配置在所述旋转环上的静止环施加局部载荷，一边对用于使所述研磨头旋转的转矩进行测定，生成表示所述转矩的测定值与所述转矩的测定时间的关系的转矩波形，对所述转矩波形进行傅立叶变换处理而决定所述转矩波形的频率成分的强度，在所决定的所述频率成分的强度比规定的阈值大的情况下，判断为所述多个辊中的至少一个存在异常，所述转矩的测定是在所述研磨头未保持所述基板时、并且所述研磨头不与具有研磨所述基板的研磨面的研磨垫接触时进行的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 向保持环传递局部载荷的辊的异常检测方法和研磨装置
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