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高精度角度反射镜的安装制造方法及高精度角度反射镜 

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申请/专利权人:科德数控股份有限公司

摘要:本发明公开了一种高精度角度反射镜的安装制造方法及高精度角度反射镜,其中安装方法包括以下步骤,步骤1、将角锥反射镜置于反射镜壳体内的角锥反射镜安装腔内,将中心距调节结构安装在反射镜壳体内,形成角度反射镜组件;步骤2、将角度反射镜组件安装在高精度转台上,旋转高精度转台,通过激激光反射回路获得两个角锥反射镜的中心距;步骤3、判断中心距是否满足要求,若否,对中心距进行调整并返回步骤2;步骤4、涂胶固定并去应力。本发明可以有效的降低壳体的加工误差、角锥反射镜与壳体的安装误差以及由于凝固胶收缩误差造成的角度反射镜的误差,降低了角度反射镜的制造成本,并显著的提高了成品率。

主权项:1.一种高精度角度反射镜的安装制造方法,其特征在于:包括以下步骤,步骤1、将两个角锥反射镜分别置于反射镜壳体内的两个角锥反射镜安装腔内,将中心距调节结构安装在反射镜壳体内,形成角度反射镜组件;步骤2、将角度反射镜组件安装在激光测试台的高精度转台上,旋转高精度转台,通过激光测试台的激光反射回路获得两个角锥反射镜的中心距;旋转高精度转台,通过激光测试台的激光反射回路获得两个角锥反射镜的中心距采用以下方法:步骤20、以设定角度±θ往复旋转高精度转台,并通过激光测试台的激光干涉仪测得激光干涉仪与两个角锥反射镜之间的光程L1和L2与L1′和L2′,计算激光干涉仪与两个角锥反射镜之间的光程差Δl1=|L1-L2|和Δl2=|L1′-L2′|;步骤21、根据激光干涉仪与两个角锥反射镜之间的光程差Δl1和Δl2计算通过公式1至公式9计算两个角锥反射镜的中心距S: 其中:θ0为激光测试台中激光反射镜与基准线的夹角;将公式1+2得到公式3: 其中:K为两个角锥反射镜的中心距测量值与设计值的比值;根据三角公式得到公式4: 最后化简得到公式5: 将公式1-2得到公式6: 根据三角公式得到公式7: 最后化简得到公式8: 用公式5除以公式8得到公式9: 将公式9求出的θ0带入任意公式1或公式2中即可求出K,进而求出两个角锥反射镜的中心距测量值;步骤3、判断获得的两个角锥反射镜的中心距是否满足第一安装要求值,若是,执行步骤4,若否,通过所述中心距调节结构调节两个所述角锥反射镜的中心距并返回步骤2;步骤4、在角锥反射镜和角锥反射镜安装腔之间均匀涂抹胶水,待胶水凝固后进行去应力处理。

全文数据:

权利要求:

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