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测试头 

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申请/专利权人:嘉微科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种测试头,包括:被隔板上下隔开的上导板和下导板,及用以接触一被测元件的多个探针;上导板包括上基板及位于所述上基板上方或下方的上支撑板,所述上支撑板与所述上基板固定形成一个整体,所述上基板设有与探针一一对应而供探针穿过的多个上通孔,所述上支撑板设有上下贯穿所述上支撑板的上开口,所述上开口供多个探针穿过,所述上基板的材料为陶瓷,所述上支撑板的材料为金属;所述隔板设有空间以收容多个探针,所述隔板于所述空间的周边设有侧部,沿上下方向所述侧部与所述上支撑板和所述上基板重叠;所述下导板设有与探针一一对应而供探针穿过的多个下通孔。如此,改进导板的应力和抗拉力并解决导板成本昂贵的问题。

主权项:1.一种测试头,包括:被隔板上下隔开的上导板和下导板,及用以接触一被测元件的多个探针;其中上导板包括上基板及位于所述上基板上方或下方的上支撑板,所述上支撑板与所述上基板固定形成一个整体,所述上基板设有与探针一一对应而供探针穿过的多个上通孔,所述上支撑板设有上下贯穿所述上支撑板的一上开口,所述上开口供多个探针穿过,所述上基板的材料为陶瓷,所述上支撑板的材料为金属;所述隔板设有一空间以收容多个探针,所述隔板于所述空间的周边设有侧部,沿上下方向所述侧部与所述上支撑板和所述上基板重叠;所述下导板设有与探针一一对应而供探针穿过的多个下通孔。

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