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申请/专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
摘要：本发明公开了一种旋涂废液收集杯清洗盘及旋涂装置，旋涂废液收集杯内设有晶圆承载座以及设于晶圆承载座周侧的清洗液喷座，旋涂废液收集杯在清洗前，旋涂废液收集杯清洗盘替换晶圆并设于晶圆承载座；旋涂废液收集杯清洗盘包括：清洗盘底座，清洗盘底座设于晶圆承载座并覆盖晶圆承载座的顶面；挡液组件，挡液组件围绕清洗盘底座，挡液组件上设置有缓冲槽，缓冲槽设置在靠近清洗液喷座的一侧，且缓冲槽围绕清洗盘底座设置，挡液组件开设有连通缓冲槽的出液口，出液口朝向旋涂废液收集杯。本发明有效解决旋涂工艺中多余的光刻胶和显影液飞溅至旋涂废液收集杯内，不便于清理的问题。
主权项：1.一种旋涂废液收集杯清洗盘，其特征在于，所述旋涂废液收集杯内设有晶圆承载座以及设于所述晶圆承载座周侧的清洗液喷座，所述旋涂废液收集杯在清洗前，所述旋涂废液收集杯清洗盘替换晶圆并设于所述晶圆承载座；所述旋涂废液收集杯清洗盘包括：清洗盘底座，所述清洗盘底座设于所述晶圆承载座并覆盖所述晶圆承载座的顶面；挡液组件，所述挡液组件围绕所述清洗盘底座，所述挡液组件上设置有缓冲槽，所述缓冲槽设置在靠近所述清洗液喷座的一侧，且所述缓冲槽围绕所述清洗盘底座设置，所述挡液组件开设有连通所述缓冲槽的出液口，所述出液口朝向所述旋涂废液收集杯的内壁；所述挡液组件包括：第一挡板；连接板，所述连接板连接所述第一挡板和所述清洗盘底座；第二挡板，所述第二挡板设置于所述第一挡板，且位于远离所述连接板的一侧；其中，所述第二挡板、所述第一挡板和所述连接板之间形成所述缓冲槽；所述挡液组件还包括：导向板，所述导向板设置于所述第一挡板远离所述缓冲槽的一侧；其中，所述导向板相对所述第一挡板倾斜，所述出液口位于所述导向板和所述第一挡板之间；所述第二挡板相对所述第一挡板倾斜，并且所述第二挡板远离所述第一挡板的一端靠近所述清洗液喷座；所述连接板与所述第一挡板连接的一端离所述旋涂废液收集杯清洗盘中心轴线的距离为L1，所述连接板与所述清洗盘底座连接的一端离所述旋涂废液收集杯清洗盘中心轴线的距离为L2，其中，L1＞L2。
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权利要求：
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