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申请/专利权人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
摘要：本申请公开了一种惰性气体亚稳态原子束流制备装置及方法，属于惰性气体亚稳态原子束流制备技术领域，该制备装置包括束源腔，束源腔上设置有法兰模块，法兰模块上连接有放电管快速替换模块和射频气体放电模块，射频气体放电模块与射频系统连接用以在束源腔内实现射频等离子体放电；放电管快速替换模块与惰性气体源连接用以替换放电管并与射频气体放电模块适配。本发明提供的制备装置和方法，可利用放电管快速替换模块装设多个放电管，可以在束源腔内不破坏真空的环境下便捷实现放电管的更换，避免了测量样品的交叉污染，大大缩短了惰性气体亚稳态束流的制备时间，对于大批量样品测量和待测样品浓度波动较大的多个样品的快速测量优势明显。
主权项：1.一种惰性气体亚稳态原子束流制备装置，其特征在于，包括束源腔，所述束源腔上设置有法兰模块，所述法兰模块上连接有放电管快速替换模块和射频气体放电模块；其中，所述射频气体放电模块与射频系统连接用以在所述束源腔内实现射频等离子体放电；所述放电管快速替换模块与惰性气体源连接用以替换放电管并与所述射频气体放电模块适配；所述放电管快速替换模块包括位于所述束源腔内的转盘以及至少两个设置于转盘上的所述放电管，所述转盘转动使得所述放电管逐一与所述射频气体放电模块连接；所述放电管快速替换模块还包括与所述转盘连接的转盘固定环，所述转盘固定环连接有通过所述法兰模块延伸至束源腔外的旋转控制件；所述转盘上开设有定位槽，所述法兰模块上连接有定位支柱并延伸至所述定位槽，所述转盘在轴向转动时，所述定位支柱的一端在定位槽内对转盘起到限位支撑作用；所述射频气体放电模块包括放电腔腔体以及与其连接的负载移位器，所述负载移位器与所述法兰模块连接用以带动所述放电腔腔体在束源腔内轴向位移并套设于所述放电管外；所述放电管外安装有螺旋线圈，所述螺旋线圈与所述放电腔腔体形成射频共振腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学 一种惰性气体亚稳态原子束流制备装置及方法
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