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申请/专利权人:连城凯克斯科技有限公司
摘要:本发明属于单晶炉技术领域,具体的说是一种单晶炉炉体控压装置,包括单晶炉盖;所述单晶炉盖的顶端固接有真空阀;通过设置的监测器对单晶炉筒内部的气压实时监测,在单晶炉筒内部气压过高时,伺服电机带动搅拌叶正向转动,抽取单晶炉筒内部的热量送至存储箱的内部暂存,起到对单晶炉筒内部减压的作用,若单晶炉筒内部气压过低,利用伺服电机反向转动,将存储箱内部的热量回送单晶炉筒内部,起到对单晶炉筒内部增压的效果,利用封堵块对二号存储腔实现封堵,起到对热气封存的作用,依靠保温筒内暂存部分热量,起到对单晶炉筒外壁保温的作用,利用回收的部分热量对进料管加热,能够对进料管内的料物进行预热。
主权项:1.一种单晶炉炉体控压装置,其特征在于:包括单晶炉盖(1);所述单晶炉盖(1)的顶端固接有真空阀(11);所述单晶炉盖(1)的底端安装有单晶炉筒(12);所述单晶炉盖(1)的顶端固接有控压筒(13),且控压筒(13)通过底端的通管连通单晶炉筒(12)内部;所述控压筒(13)的内部固接有电机盒(14),且电机盒(14)的内部安装有伺服电机;所述伺服电机的输出端固接有连接杆(15);所述连接杆(15)的外部固接有搅拌叶(16),且搅拌叶(16)设置有多个;所述控压筒(13)远离真空阀(11)的一端设置有存储机构,存储机构用于对气体回收;所述控压筒(13)的内部且靠近单晶炉筒(12)处安装有监测器(17),且监测器(17)分别与伺服电机和真空阀(11)电连接;所述存储机构包括存储箱(2)、一号存储腔(21)、支撑架(22)和封闭组件;所述存储箱(2)固接在控压筒(13)远离真空阀(11)的一端,且存储箱(2)与控压筒(13)相连通;所述一号存储腔(21)开设在存储箱(2)的内部,且一号存储腔(21)位于靠近控压筒(13)处;所述支撑架(22)固接在存储箱(2)的底端,且支撑架(22)远离存储箱(2)的一端固接单晶炉筒(12)外部;所述封闭组件设置在存储箱(2)的内部,封闭组件用于对存储箱(2)内部控制封堵。
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