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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种单晶炉装置，属于半导体制造技术领域。其中，单晶炉装置，包括：拉晶炉；所述拉晶炉内设置有坩埚轴，所述坩埚轴的上端设置有坩埚托盘，所述坩埚轴的下端穿出所述拉晶炉的底部，所述坩埚托盘内设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚内设置有石英坩埚，所述石英坩埚内用于放置多晶硅料；所述拉晶炉下部设置有排气管道，用于排出所述拉晶炉内单晶硅生长产生的尾气；尾气反应室，与所述排气管道连通，用于容纳所述排气管道传送的尾气，并对所述尾气进行处理，去除所述尾气中的磷化物。本发明的技术方案能够对拉晶炉排放的尾气进行处理。
主权项：1.一种单晶炉装置，其特征在于，包括：拉晶炉；所述拉晶炉内设置有坩埚轴，所述坩埚轴的上端设置有坩埚托盘，所述坩埚轴的下端穿出所述拉晶炉的底部，所述坩埚托盘内设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚内设置有石英坩埚，所述石英坩埚内用于放置多晶硅料；所述拉晶炉下部设置有排气管道，用于排出所述拉晶炉内单晶硅生长产生的尾气；尾气反应室，与所述排气管道连通，用于容纳所述排气管道传送的尾气，并对所述尾气进行处理，去除所述尾气中的磷化物；所述尾气反应室包括：过滤室，用于对所述尾气进行过滤，分离出所述尾气中的磷化物和惰性气体，并容纳过滤后的惰性气体；反应室，位于所述过滤室下方，用于通入含氧空气，与所述磷化物进行燃烧反应；所述单晶炉装置还包括：设置在所述尾气反应室的重量传感器，用于检测所述尾气反应室内容纳的磷化物的重量，并生成重量数据；控制单元，与所述重量传感器连接，用于接收所述重量数据；设置在所述反应室的单向阀；所述控制单元还用于在所述重量数据大于设定值时，控制所述单向阀打开，使得含氧空气进入所述反应室，与所述磷化物进行燃烧反应；所述反应室的底座为多孔结构，所述单晶炉装置还包括：设置在所述反应室的沿竖直方向下方的水槽；所述控制单元还用于在燃烧完成后，控制所述反应室的底座浸入所述水槽。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 单晶炉装置
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