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申请/专利权人：西安应用光学研究所

摘要：本发明属于光学计量测试技术领域，公开了一种柱面压缩成像系统最佳匹配调试方法，首先匹配柱面镜和线阵CCD，通过观察线阵CCD的输出至示波器的波形，当输出波形接近一条直线且信号的幅值最大时，完成柱面镜和线阵CCD的匹配；然后将柱面镜和线阵CCD作为一个整体与干涉模块进行匹配，通过观察线阵CCD输出至示波器的波形，当输出波形的占空比接近1:1且信号峰谷值最大时，干涉模块与柱面镜线阵CCD整体匹配完成。本发明解决了菲索激光波长计中的柱面压缩成像系统的调式难题，有效保证菲索波长计的波长测量精度。

主权项：1.一种菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，所述菲索干涉型波长计包括入射光纤、准直镜、平面镜、菲索干涉模块、柱面镜和线阵CCD；所述匹配调试方法包括以下步骤：第一步：匹配柱面镜和线阵CCD；第二步：匹配菲索干涉模块和柱面镜与线阵CCD的整体；所述菲索干涉型波长计中，入射光纤的输出端口位于准直镜的焦面处，待测激光经入射光纤传输至入射光纤的输出端口处，待测激光经过入射光纤输出端口之后，待测激光以发散角α传输，发散待测激光经准直镜整形为平行光束，平行光束经过平面镜折转之后入射到菲索干涉模块，经过菲索干涉模块形成明暗干涉条纹沿纵向延伸的宽带干涉条纹，宽带干涉条纹的宽度小于或者等于菲索干涉模块的干涉腔体的宽度，宽带干涉条纹经柱面镜沿横向压缩之后，到达线阵CCD光敏面，形成窄带干涉条纹，窄带干涉条纹横向宽度小于或者等于CCD光敏面横向宽度，窄带干涉条纹被线阵CCD探测接收；所述菲索干涉模块、柱面镜和线阵CCD组成柱面成像压缩系统，第一步中，匹配柱面镜和线阵CCD时，固定柱面镜和线阵CCD中的其中一个，对另一个从高低、左右、前后、方位、俯仰、横滚六维进行调节，观察线阵CCD输出至所连接的示波器的波形，当输出波形为直线且信号的幅值最大时，完成柱面镜和线阵CCD的匹配；第一步中，匹配柱面镜和线阵CCD时，固定柱面镜，将菲索干涉模块移出光路，柱面镜把平行光束横向压缩为一窄带光束，先将线阵CCD光敏面纵向和窄带光束纵向保持一致，先调节线阵CCD的高低、左右、前后位置，使线阵CCD的总输出信号最大，然后调节线阵CCD的横滚方向，用示波器观察线阵CCD的输出波形，当线阵CCD光敏面纵向和窄带光束纵向不一致时，示波器上的输出为高低起伏超过设定阈值的波形；当线阵CCD光敏面纵向和窄带光束纵向一致时，示波器上的输出为直线波形；然后微调线阵CCD方位和俯仰，使线阵CCD的输出波形电压最大，至此，柱面镜和线阵CCD匹配完毕，固定柱面镜和线阵CCD；第二步中，将柱面镜和线阵CCD作为整体和菲索干涉模块进行匹配时，将菲索干涉模块移入光路，菲索干涉模块具备方位、俯仰和横滚调节能力，调节菲索干涉模块的横滚方向，同时观察线阵CCD的输出波形，输出波形占空比1:1时，横滚调节完成；然后调节菲索干涉模块的方位和俯仰，调到信号峰谷值最大为止，固定菲索干涉模块；至此，柱面镜、线阵CCD和菲索干涉模块三者匹配完毕。

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