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申请/专利权人：苏州玖钧智能装备有限公司
摘要：本发明公开了硅片清洗领域所用大跨度行走模组机器人及其作业工艺，包括硅片抓取模组，对硅片进行吸附抓取；硅片清洗模组，若干个硅片清洗模组设在硅片抓取模组的同一侧；纵向导轨组，硅片抓取模组、硅片清洗模组均各自通过滚轮在纵向导轨组上做水平往复运动；纵向导轨组包括相互并列布置的空腔型材、直线导轨、纵向水平齿条，空腔型材、直线导轨、纵向水平齿条各自长度均不相等；纵向水平齿条自身的凸齿竖直朝下，硅片抓取模组、硅片清洗模组自身均具备与纵向水平齿条啮合的圆齿轮，圆齿轮驱动硅片抓取模组、硅片清洗模组行走。采用此发明能智能提升硅片清洗领域的大跨度行走效率，提升作业精度。
主权项：1.硅片清洗领域所用大跨度行走模组机器人，其特征在于，包括：硅片抓取模组，对硅片进行吸附抓取；硅片清洗模组，若干个硅片清洗模组设在硅片抓取模组的同一侧；纵向导轨组，所述硅片抓取模组、硅片清洗模组均各自通过滚轮在纵向导轨组上做水平往复运动；所述纵向导轨组包括相互并列布置的空腔型材、直线导轨、纵向水平齿条，所述空腔型材、直线导轨、纵向水平齿条各自长度均不相等；若干根空腔型材首尾对接、若干根直线导轨首尾对接、若干根纵向水平齿条首尾对接共同拼接成了纵向导轨组；所述直线导轨与空腔型材的顶部固定，所述纵向水平齿条与空腔型材的侧立面固定，所述滚轮与直线导轨的顶部滚动接触，所述纵向水平齿条自身的凸齿竖直朝下，所述硅片抓取模组、硅片清洗模组自身均具备与纵向水平齿条啮合的圆齿轮，所述圆齿轮驱动硅片抓取模组、硅片清洗模组行走；所述空腔型材的顶面、底面、两个侧立面各至少具备两条T型槽，所述空腔型材侧立面的T型槽通过T型螺栓装配有侧固定板，所述纵向水平齿条与侧固定板构成面接触固定；所述侧固定板的竖向厚度大于纵向水平齿条的竖向厚度；所述侧固定板自身顶部高于直线导轨的顶部和纵向水平齿条的顶部；所述硅片清洗模组具备水平指向相邻硅片清洗模组的距离传感器。
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