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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本发明公开了一种半导体锁模激光器，包括：衬底；形成在衬底上的第一外延层，配置为响应于外加泵浦电流而产生激光；非对称Y形脊波导，形成在第一外延层上，包括：饱和吸收区，位于非对称Y形脊波导的合束端；多模干涉反射镜，位于非对称Y形脊波导的第一分束端；增益区，设置在饱和吸收区与多模干涉反射镜之间，且位于第一分束端；第一反射膜层，位于饱和吸收区的远离增益区的一端面，其中，饱和吸收区、增益区、多模干涉反射镜与第一反射膜层构成谐振腔，谐振腔适用于产生锁模脉冲；锥形功率放大区，位于非对称Y形脊波导的第二分束端，适用于放大锁模脉冲；以及第二反射膜层，设置在锥形放大区的输出端面，适用于输出放大后的锁模脉冲。
主权项：1.一种半导体锁模激光器，其特征在于，包括：衬底（1）；第一外延层（2），形成在所述衬底（1）上，所述第一外延层（2）配置为响应于外加泵浦电流而产生激光；非对称Y形脊波导（3），形成在所述第一外延层（2）上，所述非对称Y形脊波导（3）包括：饱和吸收区（31），位于所述非对称Y形脊波导（3）的合束端；多模干涉反射镜（33），位于所述非对称Y形脊波导（3）的第一分束端；增益区（32），设置在所述饱和吸收区（31）与所述多模干涉反射镜（33）之间，且位于所述非对称Y形脊波导（3）的所述第一分束端；第一反射膜层（34），位于所述饱和吸收区（31）的远离所述增益区（32）的一端面，其中，所述饱和吸收区（31）、所述增益区（32）、所述多模干涉反射镜（33）与所述第一反射膜层（34）构成谐振腔，所述谐振腔适用于利用所述第一外延层（2）产生的激光产生锁模脉冲；锥形功率放大区（35），位于所述非对称Y形脊波导（3）的第二分束端，适用于放大所述锁模脉冲，其中所述第一分束端与所述第二分束端的分叉点位于所述增益区（32）内；以及第二反射膜层（36），设置在所述锥形功率放大区（35）的输出端面，适用于输出放大后的所述锁模脉冲，其中，所述第二反射膜层（36）的反射率小于所述第一反射膜层（34）的反射率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 半导体锁模激光器及其制备方法
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