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申请/专利权人：芯铂微半导体设备(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆载盘水平调节基座，属于晶圆载盘技术领域，调节机构的两侧分别安装有螺丝，上圆盘上的调节机构一侧安装有止浮螺丝，晶圆载盘主体上的调节机构斜侧安装有定位基座点固定螺丝，在分别调整左右两个调节机构，使三点位置高度差在10um以内，具体调节首先松掉侧面的止浮螺丝，然后用两个内六角扳手分别顺时针逆时针调节高度，调节过程中看着数显千分尺的数值，接近定位基座的数字，然后调节另外一个，最后锁紧止浮螺丝，最后用过千分尺确定一下三个点的高度，晶圆水平调节机构的技术效果主要体现在提高测试一致性、防止晶圆损伤、提高生产效率、优化工艺质量和降低生产成本等方面。
主权项：1.晶圆载盘水平调节基座，包括用于调节水平的晶圆载盘主体1；其特征在于：晶圆载盘主体1分为下圆盘2和上圆盘6组成，晶圆载盘主体1的外圈安装有调节机构4，调节机构4的两侧分别安装有螺丝5，上圆盘6上的调节机构4一侧安装有止浮螺丝7，晶圆载盘主体1上的调节机构4斜侧安装有定位基座点固定螺丝3。
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权利要求：
百度查询： 芯铂微半导体设备(上海)有限公司 晶圆载盘水平调节基座
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