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申请/专利权人：沈阳新研测科技服务有限公司
摘要：本实用新型公开了一种SEM测试实验的硅片保护装置，包括保护盒、固定支架和硅片。本实用新型通过设置了保护装置，通过拉动限位块，同时转动固定杆，使固定杆嵌入限位块底端的缺口使限位块固定，通过把手拉开装片门，即可将硅片放入保护壳对其进行保护，转动连杆一，连杆一转动时带动开合板向右移动，开合板移动时带动连杆二转动，连杆二转动时通过右不完全齿轮块与左不完全齿轮块的啮合传动使连杆三转动连杆三转动时使开合板向左移动，硅片掉落至下料通道，到达取料通道拾取，通过此装置全面的保护了硅片，减少未使用的硅片与外界接触的时间，同时在取片时实现单一取片，避免了对其他硅片造成伤害，防止意外发生，保护了硅片质量安全。
主权项：1.一种SEM测试实验的硅片保护装置，包括保护盒1、固定支架2和硅片3，所述固定支架2安装于保护盒1的底端，所述硅片3设置于保护盒1的内部；其特征在于：还包括保护装置4，所述保护装置4设置于保护盒1的内部，所述保护装置4包括活动槽41、推块42、弹簧一43、装片门44、限位槽45、限位块46、限位杆47、弹簧二48、固定杆49和取料机构410，所述活动槽41开设于保护盒1的内壁顶端，所述推块42设置于保护盒1的内部，且推块42的顶端向上穿过活动槽41延伸至保护盒1的顶端，所述弹簧一43固定于保护盒1的内部右端，且弹簧一43的左端与推块42的右端弹性连接，所述装片门44设置于保护盒1的左端内壁，且装片门44的后端通过转轴与保护盒1转动连接，所述限位槽45设置于保护盒1的左端前侧中部，所述限位块46贯穿于限位槽45的前后两端中部，所述限位杆47设置于限位槽45的内部，且限位杆47固定于限位块46的外侧，所述弹簧二48固定于限位槽45的内部前端，且弹簧二48的后端与限位杆47弹性连接，所述固定杆49通过转轴固定于限位槽45的底部，所述取料机构410设置于保护盒1的内部左端底部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳新研测科技服务有限公司 一种SEM测试实验的硅片保护装置
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