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申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
摘要：本实用新型的实施例公开了一种加速度传感器，其中加速度传感器包括：可动质量块，可动质量块上设置有第一镂空槽；固定质量块和弹性梁，固定质量块和弹性梁设置在第一镂空槽内，固定质量块通过弹性梁与可动质量块相弹性连接；弹性梁包括沿第一轴向延伸的主梁和沿第二轴向延伸的子梁，针对每个主梁，主梁的两端分别通过子梁分别与固定质量块和可动质量块连接；其中，子梁与主梁的连接处设有边界部，子梁与主梁通过边界部平滑地过渡连接，边界部的横截面为圆弧状，边界部的曲率半径R，其中，3μm≤R≤8μm。根据本实用新型，边界部解决应力集中问题，避免加速度传感器输出信号产生偏差，提高加速度传感器的可靠性。
主权项：1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：可动质量块，所述可动质量块上设置有第一镂空槽；固定质量块和弹性梁，所述固定质量块和所述弹性梁设置在所述第一镂空槽内，所述固定质量块通过所述弹性梁与所述可动质量块相弹性连接；所述加速度传感器具有相交且垂直的第一轴向和第二轴向，所述可动质量块、所述固定质量块以及所述弹性梁容设在与所述第一轴向和第二轴向所在的平面相平行的第一平面内；所述弹性梁包括沿第一轴向延伸的主梁和沿第二轴向延伸的子梁，针对每个所述主梁，所述主梁的两端分别通过所述子梁分别与所述固定质量块和所述可动质量块连接；其中，所述子梁与所述主梁的连接处设有边界部，所述子梁与所述主梁通过所述边界部平滑地过渡连接；沿所述第一平面，所述边界部的横截面为圆弧状，所述边界部的曲率半径R，其中，3μm≤R≤8μm。
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百度查询： 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 加速度传感器
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