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一种硅靶材加工装置 

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申请/专利权人:深圳市鼎信表面处理科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种硅靶材加工装置,包括按照工位顺序依次设置的第一推动组件、第一挤压固定组件、打磨机构、第二推动组件、第二挤压固定组件、切割机构和定长机构,第一推动组件包括上下推动轮件和左右推动轮件,第一挤压固定组件包括上下对称的上压件和下压件,上压件包括下压气缸和下压板,打磨机构包括打磨件、转筒和驱动组件,切割机构包括切割垫块、切割刀和驱动气缸,定长机构包括定距检测板以及推动定距检测板的板推动组件。本实用新型利用推动组件对棒材进行推动移动,用转筒式打磨的打磨机构能对棒材一周进行打磨,按照打磨一节段推动一节段,打磨完成后直接进入到切割机构切割,整个过程自动化程度高,打磨切割一体化完成。

主权项:1.一种硅靶材加工装置,其特征在于:包括按照工位顺序依次设置的第一推动组件(1)、第一挤压固定组件、打磨机构、第二推动组件(5)、第二挤压固定组件(6)、切割机构和定长机构,所述第一推动组件(1)与第二推动组件(5)结构相同且均包括上下推动轮件和左右推动轮件,所述第一挤压固定组件与第二挤压固定组件(6)结构相同且均包括上下对称的上压件和下压件,所述上压件包括下压气缸(2)和下压板(21),所述打磨机构包括打磨件、转筒(3)和驱动组件,所述转筒(3)内壁中间位置设有打磨件,所述转筒(3)外壁两端套有第一轴承(31)并将第一轴承(31)固定,所述驱动组件驱动转筒(3)转动,所述切割机构包括切割垫块(72)、切割刀(7)和驱动气缸(71),所述切割垫块(72)上方设有朝下的切割刀(7),所述切割刀(7)安装在驱动气缸(71)的气缸轴上,所述定长机构包括定距检测板(8)以及推动定距检测板的板推动组件。

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权利要求:

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