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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本申请属于靶材制备技术领域，公开了一种高致密度氧化铟钨靶材的制备方法，先将氧化铟粉末、氧化钨粉末混合，得到粉体一，再将粉体一高温煅烧、球磨、喷雾造粒，得到粉体二，随后将粉体二液压成型，冷等静压，得到氧化铟钨靶坯，最后将氧化铟钨靶坯烧结，得到氧化铟钨靶材，且氧化铟与氧化钨的质量比为95～99.9：0.1～5，粉体一经高温煅烧、球磨后的D90为1±0.2μm，本申请通过上述设计，制得了一种具有高的相对密度、低电阻的高致密度氧化铟钨靶材，此外，本申请还公开了一种高致密度氧化铟钨靶材。
主权项：1.一种高致密度氧化铟钨靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将氧化铟粉末、氧化钨粉末混合，得到粉体一；步骤2：将步骤1制得的粉体一高温煅烧、球磨、喷雾造粒，得到粉体二；步骤3：将步骤2制得的粉体二液压成型，冷等静压，得到氧化铟钨靶坯；步骤4：将步骤3制得的氧化铟钨靶坯烧结，得到氧化铟钨靶材；所述步骤1中氧化铟与氧化钨的质量比为95～99.9：0.1～5；所述粉体一经高温煅烧、球磨后的D90为1±0.2μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种高致密度氧化铟钨靶材及其制备方法
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