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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光设备，化学机械抛光设备包括：前置单元、抛光单元、清洗单元和转运单元。前置单元包括存储模块和第一转运模块；转运单元包括动子，动子能够自由移动，动子用于将晶圆由第一转运模块转运至抛光单元、由抛光单元转运至清洗单元，第一转运模块用于将晶圆由存储模块转运至动子，由清洗单元转运至前置单元。根据本实用新型的化学机械抛光设备，化学机械抛光设备可以实现晶圆的自由转运和高效处理，兼具生产效率高、适配性强、可优化生产工艺及生产成本等优点。
主权项：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括：前置单元，所述前置单元包括存储模块和第一转运模块；抛光单元和清洗单元；转运单元，所述转运单元包括动子，所述动子能够自由移动，所述动子用于将晶圆由所述第一转运模块转运至所述抛光单元、由所述抛光单元转运至所述清洗单元，所述第一转运模块用于将所述晶圆由所述存储模块转运至所述动子，由所述清洗单元转运至所述前置单元。
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权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 化学机械抛光设备
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