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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种抛光液落点可控的摆臂装置及工件的抛光设备，属于抛光领域，其中，抛光液落点可控的摆臂装置包括抛液管和驱动机构，所述抛液管呈螺旋状，且所述抛液管的出液端能沿第一轴线移动，所述抛液管能绕第二轴线摆动，所述第二轴线平行于上下方向并垂直于所述第一轴线；所述驱动机构包括连接块和传动带，所述连接块连接于所述传动带，所述传动带能带动所述连接块沿所述第一轴线移动，且所述传动带与所述抛液管均绕第二轴线保持同步摆动。与现有技术相比，本发明提供的抛光液落点可控的摆臂装置，通过控制抛光管的转动和出液端的移动，提升了抛光液的喷洒范围和落点精度，解决了。
主权项：1.一种抛光液落点可控的摆臂装置，其特征在于，包括：抛液管1和驱动机构2，所述抛液管1呈螺旋状，且所述抛液管1的出液端11能沿第一轴线移动，所述抛液管1能绕第二轴线摆动，所述第二轴线平行于上下方向并垂直于所述第一轴线；所述驱动机构2包括连接块24和传动带，所述连接块24连接于所述传动带，所述传动带能带动所述连接块24沿所述第一轴线移动，且所述传动带与所述抛液管1均绕第二轴线保持同步摆动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 抛光液落点可控的摆臂装置及工件的抛光设备
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