龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本实用新型公开一种搬运装置，属于晶圆加工设备的技术领域，搬运装置包括升降机构、旋转机构，以及抓取机构。所述抓取机构包括若干用于吸附晶圆的吸附器。所述升降机构具有升降部，所述旋转机构安装于所述升降机构的所述升降部，所述旋转机构具有旋转部，所述抓取机构安装于所述旋转机构的所述旋转部，所述旋转部用于驱动抓取机构在不同工位之间运动。本实用新型不仅适用于各种晶圆，也可以适用于多个加工工位呈圆周分布的加工设备。
主权项：1.一种搬运装置，其特征在于，包括：升降机构11，具有升降部113；旋转机构12，安装于所述升降机构11的所述升降部113；所述旋转机构12具有旋转部129；以及抓取机构13，安装于所述旋转机构12的所述旋转部129；所述旋转部129用于驱动抓取机构13在不同工位之间运动；所述抓取机构13包括若干用于吸附晶圆的吸附器131。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 搬运装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号