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申请/专利权人：爱特微(张家港)半导体技术有限公司
摘要：本实用新型涉及沉积炉技术领域，且公开了一种沉积炉炉盖的密封结构，包括炉体和炉盖，所述炉盖位于炉体的顶部，所述炉体的顶部开口处固定设有环形密封板，所述炉盖的内侧壁开设有与环形密封板相配合的第一环形密封槽，所述环形密封板的截面形状和第一环形密封槽的截面形状均为梯形，所述炉体的两侧与炉盖的两侧之间均设有螺旋拉紧机构。本实用新型采用炉盖与炉体之间拉紧的结构起到密封作用，且密封性高，降低炉体内部的热量损耗。
主权项：1.一种沉积炉炉盖的密封结构，包括炉体1和炉盖2，其特征在于：所述炉盖2位于炉体1的顶部，所述炉体1的顶部开口处固定设有环形密封板3，所述炉盖2的内侧壁开设有与环形密封板3相配合的第一环形密封槽4，所述环形密封板3的截面形状和第一环形密封槽4的截面形状均为梯形，所述炉体1的两侧与炉盖2的两侧之间均设有螺旋拉紧机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 爱特微(张家港)半导体技术有限公司 一种沉积炉炉盖的密封结构
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