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申请/专利权人：上海松尚集芯半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种药液混合装置，涉及半导体技术领域。本实用新型包括柜体，柜体内设有混液罐；通过带手阀、调压阀、二通阀以及涡轮流量计的管路与各路药液相连通，并且通过手阀、二通阀与纯水相连通；该装置独立于晶圆清洗设备和晶圆设备，能够单独运行使用，空间结构紧凑且集成化程度高，有利于模块化管理，降低了使用空间及成本；并且通过阀门的控制，能够不受主机台互锁的影响，通过关闭阀门就能够单独更换损坏的元器件，不受晶圆清洗设备以及晶圆刻蚀设备的影响，提高了使用效率；使用成本低，且控制简单；利用流体泵配合混液罐进行循环，能够充分混合药液。
主权项：1.一种药液混合装置，包括柜体2，其特征在于，所述柜体2内设有混液罐1；供应的第一路药液通过带第一手阀101、第一调压阀102、第一二通阀104、第一涡轮流量计105的管路与混液罐1相连；供应的第二路药液通过带第二手阀106、第二调压阀107、第二二通阀109、第二涡轮流量计110的管路与混液罐1相连；供应的第三路药液通过带第三手阀111、第三调压阀112、第三二通阀114、第三涡轮流量计115的管路与混液罐1相连；供应的纯水通过带第四手阀116、第四二通阀117的管路与混液罐1相连；所述混液罐1的底部通过带第五手动阀119、流体泵120、第五二通阀122的管路与废液排放盒124相连；所述流体泵120与第五二通阀122之间接有带第六手动阀121、三通阀118的管路，所述三通阀118的另一阀口与混液罐1相连通，三通阀118的第三阀口为常闭状态且与混液出口相连通；所述废液排放盒124放置于漏液槽113内。
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权利要求：
百度查询： 上海松尚集芯半导体科技有限公司 一种药液混合装置
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