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申请/专利权人：武汉一准测量技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种膜厚测量设备，包括驱动台，其上侧面横向固定设有基板，基板上侧面设有陶瓷板，陶瓷板上垂直于基板均匀开设有多个通气孔，基板下侧面设有气管口，气管口与外界系统连通，陶瓷板正上方垂直设有测量头，驱动台对应测量头活动设有驱动组件，测量头对应陶瓷板的一端上固定设有彩色光谱共焦传感器，其与驱动台电性连接；通过驱动组件可驱动测量头移动，配合彩色光谱共焦传感器进行移动至测量区域，通过陶瓷板上垂直于基板11均匀开设有多个通气孔，配合外部系统通过气管口对其进行抽放气，形成正负气压对陶瓷板上的杂质灰尘进行吹扫及待测工件的吸附，相对人工调整，实现高精度、高效率、高稳定性的测量。
主权项：1.一种膜厚测量设备，包括驱动台1，所述驱动台1上侧面横向固定设有基板11，其特征在于，还包括：陶瓷板2，其设于基板11上侧面，所述基板11对应陶瓷板2开设有与之匹配的放置槽12，所述陶瓷板2上垂直于基板11均匀开设有多个通气孔21；气管口3，其设于基板11下侧面，并穿过基板11与放置槽12底部连通，所述气管口3与外界系统连通；测量头4，其垂直设于陶瓷板2正上方，所述驱动台1对应测量头4活动设有驱动组件5，所述驱动组件5与测量头4驱动连接；彩色光谱共焦传感器6，其固定设于测量头4对应陶瓷板2的一端上，并与驱动台1电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉一准测量技术有限公司 一种膜厚测量设备
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