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申请/专利权人：苏州恩正科电子有限公司
摘要：本实用新型涉及一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置，旨解决当前对晶圆进行清洗较为麻烦的技术问题，包括晶圆转向装置本体和限位组件；晶圆转向装置本体包括支撑板A、转动轴A、转动环、转动轴B和支撑板B；转动轴A通过限位组件与支撑板A转动连接，转动环与转动轴A端部固定连接，转动轴B固设于转动环远离转动轴A一侧，支撑板B通过轴承与转动轴B转动连接；限位组件包括转动槽、转动块、活动槽、弹簧、限位块和限位槽；支撑板A内开设有转动槽；转动块套接于转动轴A上；转动槽内开设有活动槽；弹簧设于活动槽内；限位块与弹簧另一端固定连接；转动块圆周面上呈环形阵列开设有若干个限位槽；本实用新型具有便于对晶圆进行翻转清洗的优点。
主权项：1.一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置，其特征在于，包括：晶圆转向装置本体1；其中，所述晶圆转向装置本体1包括支撑板A101、转动轴A102、转动环103、转动轴B104和支撑板B105；所述转动轴A102通过限位组件2与支撑板A101转动连接，所述转动环103与转动轴A102端部固定连接，所述转动轴B104固设于转动环103远离转动轴A102一侧，所述支撑板B105通过轴承与转动轴B104转动连接；其中，所述限位组件2包括转动槽201、转动块202、活动槽203、弹簧204、限位块205和限位槽206；所述支撑板A101内开设有转动槽201；所述转动块202套接于所述转动轴A102上；其中，所述转动块202与转动槽201转动配合；所述转动槽201内开设有至少一个活动槽203；所述弹簧204设于所述活动槽203内，且所述弹簧204一端与活动槽203内壁固定连接；所述限位块205滑动设于所述活动槽203内，所述限位块205与弹簧204另一端固定连接，且所述限位块205端部穿过活动槽203延伸至外部；所述转动块202圆周面上呈环形阵列开设有若干个限位槽206；其中，所述限位块205与限位槽206卡接配合。
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