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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实施例公开了一种分离键合产品的装置，包括第一载台、第二载台以及分离件，第一载台的表面上设有第一吸盘，第一吸盘用于吸紧键合产品；第二载台与第一载台活动连接，以使第二载台能开合地靠近或远离第一载台，且第二载台朝向第一载台的表面上设有第二吸盘，第二吸盘用于吸紧键合产品；分离件设于第一载台朝向第二载台的表面上，且分离件能沿第一方向靠近或远离第一吸盘，用于对吸紧在第一吸盘上的键合产品进行分离。本实施例的技术方案，相比传统采用人工手动操作的方式，能够有效地减轻劳动强度，提高分离的效率，同时还能够有效地避免操作人员因操作不当而导致晶片的损坏，增加制造成本。
主权项：1.一种分离键合产品的装置，其特征在于，包括：第一载台，其表面上设有第一吸盘，所述第一吸盘用于吸紧键合产品；第二载台，其与所述第一载台活动连接，以使所述第二载台能开合地靠近或远离第一载台，且所述第二载台朝向所述第一载台的表面上设有第二吸盘，所述第二吸盘用于吸紧键合产品；分离件，其设于所述第一载台朝向所述第二载台的表面上，且所述分离件能沿第一方向靠近或远离所述第一吸盘，用于对吸紧在所述第一吸盘上的键合产品进行分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种分离键合产品的装置
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