龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：泰姆瑞(北京)精密技术有限公司
摘要：本发明涉及芯片压力烧结技术领域，提供一种压力烧结炉及清洗方法。一种压力烧结炉，包括：预热工位、压接工位、冷却工位和至少两个插板阀；依工作流程依次为预热工位、压接工位和冷却工位，所述预热工位的进口端设置所述插板阀，所述冷却工位的出口端设置所述插板阀，所述预热工位、所述压接工位和所述冷却工位之间设置所述插板阀；所述预热工位包括第一真空腔体、第一负电极板、第一正电极板和至少一个第一屏蔽线，所述第一真空腔体一侧设置有所述第一负电极板，所述第一真空腔体的另一侧设置有所述第一正电极板，所述第一负电极板和所述第一正电极板的连接处设置有所述第一屏蔽线。可以有效去除有机污染物。
主权项：1.一种压力烧结炉，其特征在于，包括：预热工位、压接工位、冷却工位和至少两个插板阀；依工作流程依次为预热工位、压接工位和冷却工位，所述预热工位的进口端设置所述插板阀，所述冷却工位的出口端设置所述插板阀，所述预热工位、所述压接工位和所述冷却工位之间设置所述插板阀；所述预热工位包括第一真空腔体、第一负电极板、第一正电极板和至少一个第一屏蔽线，所述第一真空腔体一侧设置有所述第一负电极板，所述第一真空腔体的另一侧设置有所述第一正电极板，所述第一负电极板和所述第一正电极板的连接处设置有所述第一屏蔽线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 泰姆瑞(北京)精密技术有限公司 一种压力烧结炉
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号