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申请/专利权人：长沙韶光芯材科技有限公司
摘要：本发明涉及镀覆工艺的控制技术领域，具体涉及一种玻璃基板镀膜蚀刻方法及系统。该方法包括获取偏置环境数据和镀膜环境数据，结合粒子滤波算法数据分析得到温度噪音矢量、等离子体热传导矢量和加热温度矢量，进而实现基片初始温度的调整，得到调整温度，结合所有温度粒子的调整温度确定基片实时温度；基于基片实时温度生成控制电信号，基于控制电信号对基片表面温度进行调控，完成镀膜。本发明实施例能够结合温度噪音矢量、等离子体热传导矢量和加热温度矢量，确定当前时刻更准确的基片实时温度，进而提升玻璃基板镀膜控制的可靠性。
主权项：1.一种玻璃基板镀膜蚀刻方法，其特征在于，镀膜蚀刻包括电离偏置过程、镀膜过程和蚀刻过程，在待镀膜基片的预设距离处配置第一温度传感器，在工艺气体原子的电离处配置第二温度传感器，所述方法包括：周期性获取电离偏置过程中的偏置环境数据和镀膜过程中的镀膜环境数据，其中，所述偏置环境数据包括偏置电压、电离功率以及第二温度传感器所获取的等离子体温度；所述镀膜环境数据包括第一温度传感器所获取到的监控温度和对待镀膜基片进行加热的加热温度；基于粒子滤波算法确定温度粒子，其中，所述温度粒子的基片初始温度为加热温度与监控温度一致时所对应的温度值；根据所述基片初始温度和当前时刻的所述加热温度，确定加热温度矢量；根据所述基片初始温度、所述等离子体温度和所述电离功率，确定所述工艺气体原子经过电离偏置的等离子新增强度；结合所述偏置电压、所述基片初始温度和所述等离子新增强度，确定等离子体热传导矢量；根据等离子新增强度结合监控温度，确定温度噪音矢量；结合温度噪音矢量、所述等离子体热传导矢量和所述加热温度矢量，调整不同温度粒子的基片初始温度，得到调整温度，结合所有温度粒子的调整温度确定基片实时温度；基于基片实时温度生成控制电信号，基于所述控制电信号对基片表面温度进行调控，完成镀膜；利用蚀刻工艺对镀膜后的玻璃基板进行蚀刻。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长沙韶光芯材科技有限公司 一种玻璃基板镀膜蚀刻方法及系统
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