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申请/专利权人：新光电气工业株式会社
摘要：本发明涉及一种基板固定装置，该基板固定装置包括底板、设置在该底板上的发热部、设置在该发热部上的金属层、以及设置在该金属层上的静电吸盘。在基板固定装置中，金属层由与底板相同的材料制成。
主权项：1.一种基板固定装置，包括：底板；发热部，其设置在所述底板上；金属层，其设置在所述发热部上；以及静电吸盘，其设置在所述金属层上，其中，所述金属层由与所述底板相同的材料制成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新光电气工业株式会社 基板固定装置
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