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MEMS划胶贴片工艺及封装底板 

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申请/专利权人:荣成歌尔微电子有限公司

摘要:本发明公开了一种MEMS划胶贴片工艺及封装底板,涉及MEMS封装技术领域,其中,MEMS划胶贴片工艺包括以下步骤:将封装底板固定于吸附设备;在电路板的底面贴附薄膜,以封堵电路板上的声孔;将电路板放置于封装底板的吸附平台;吸附设备产生吸力,以通过封装底板上的吸附孔吸附固定电路板;在电路板正面的划胶区域划胶;在电路板正面的划胶区域贴片。本发明提供的技术方案可取消更换封装底板、调试压板工装所带来的安装时间,以提升封装效率。

主权项:1.一种MEMS划胶贴片工艺,其特征在于,包括以下步骤:将封装底板固定于吸附设备;在电路板的底面贴附薄膜,以封堵所述电路板上的声孔;将所述电路板放置于所述封装底板的吸附平台;所述吸附设备产生吸力,以通过所述封装底板上的吸附孔吸附固定所述电路板;在所述电路板正面的划胶区域划胶;在所述电路板正面的划胶区域贴片。

全文数据:

权利要求:

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