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申请/专利权人：清华大学深圳国际研究生院
摘要：一种基于氮化镓GaN光电器件的压力传感器，包括：单片集成的GaN光电器件，该器件包括发光二极管LED和光电二极管PD；蓝宝石基底，设置在GaN光电器件的上方，蓝宝石基底用于实现光在LED和PD之间的全内反射；柔性基板，GaN光电器件连同蓝宝石基底封装在柔性基板上；具有微纳结构的薄膜，设置在蓝宝石基底上方，在受力变形时，随着薄膜与蓝宝石基底接触面积的增加，影响全内反射的条件，进而影响从LED发出并反射回PD的光量。本发明实现了一种无袖带的可穿戴式的微型血压测量设备，可进行非阻塞的血压监测，从而能够提高用户的舒适度；该血压测量装置实现了器件小型化，利于可穿戴应用，且能够采集高质量更的脉搏波信号。
主权项：1.一种基于氮化镓GaN光电器件的压力传感器，其特征在于，包括：单片集成的氮化镓GaN光电器件，该器件包括发光二极管LED和光电二极管PD；蓝宝石基底，设置在所述GaN光电器件的上方，用于实现光在LED和PD之间的全内反射；柔性基板，所述GaN光电器件连同所述蓝宝石基底封装在所述柔性基板上；具有微纳结构的薄膜，设置在所述蓝宝石基底上方，在受力变形时，所述薄膜与所述蓝宝石基底之间的空气体积变小而所述薄膜与所述蓝宝石基底的接触面积增大，改变光从所述蓝宝石基底到所述薄膜的有效折射率，从而影响全内反射的条件，进而影响从LED发出并反射回PD的光量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学深圳国际研究生院 基于单片集成的氮化镓光电器件的压力传感器
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