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申请/专利权人：宸微设备科技(苏州)有限公司
摘要：一种晶圆加热基座，晶圆加热基座包括：盘部和轴部；所述盘部的顶部用于承载晶圆；所述轴部的顶部固定连接所述盘部的底部，用于支撑所述盘部，所述轴部为轴向贯通的中空结构，且所述轴部内设置有加热器，所述加热器用于对所述盘部的底部中心区域进行温度调节。本发明实施例提供的晶圆加热基座中，所述盘部顶部承载晶圆，加热器设置在轴部中轴向贯通的中空结构内，加热器通过轴部的轴向贯通的中空结构来直接与盘部底部的中心接触，在晶圆加热基座工作时，加热器的顶部直接对盘部的中心提供热量，进行温度调节，解决了盘部中心冷区的问题，有利于提高晶圆表面的温度均匀性。
主权项：1.一种晶圆加热基座，其特征在于，包括：盘部和轴部；所述盘部的顶部用于承载晶圆；所述轴部的顶部固定连接所述盘部的底部，用于支撑所述盘部，所述轴部为轴向贯通的中空结构，且所述轴向贯通的中空结构内设置有加热器，所述加热器用于对所述盘部的底部中心区域进行温度调节。
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百度查询： 宸微设备科技(苏州)有限公司 晶圆加热基座
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