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申请/专利权人：季华实验室

摘要：本发明涉及湿法刻蚀领域，本发明公开一种喷头和喷淋设备，其中，喷头包括外壳，所述外壳内设有容纳空间，所述喷头还包括刮液机构，所述外壳上设有输入孔，所述输入孔连通到所述容纳空间中，所述外壳的底部设有长度沿左右方向延伸的狭缝，所述狭缝连通到所述容纳空间内，所述刮液机构设置在所述外壳上，所述刮液机构设置在所述狭缝的前侧和或后侧。另外，喷淋设备包括所述的喷头，喷淋设备还包括底座、承载台和横移机构，所述承载台固定在所述底座上，所述承载台用于承载工件，所述横移机构设置在所述底座上，所述外壳设置在所述横移机构上，所述横移机构带动所述外壳前后横移，使得输出孔可对承载台上的工件进行喷淋。

主权项：1.一种喷淋设备，其特征在于，包括喷头，所述喷头包括外壳（1），所述外壳（1）内设有容纳空间，所述喷头用于喷淋设备，其作用是用于对基板表面进行连续喷淋以实现基板刻蚀，所述喷头还包括刮液机构（2），所述外壳（1）上设有输入孔（12），所述输入孔（12）连通到所述容纳空间中，所述外壳（1）的底部设有用于输出药剂的狭缝（13），所述狭缝（13）连通到所述容纳空间内，所述刮液机构（2）设置在所述外壳（1）上，狭缝（13）的前侧和或后侧设置所述刮液机构（2），所述刮液机构用于刮走基板上表面的液体；所述刮液机构（2）包括刮板（24），所述刮板（24）设置在所述外壳（1）上，所述刮板（24）的长度沿左右方向延伸；所述刮液机构（2）还包括驱动装置，所述驱动装置设置在外壳（1）上，所述刮板（24）与所述外壳（1）之间通过转轴（20）连接，使得所述刮板（24）和所述外壳（1）之间可相对转动，所述转轴（20）沿左右方向延伸，所述驱动装置带动所述刮板（24）摆动，以调整刮板（24）和工件之间的夹角；喷淋设备还包括底座（41）、承载台（42）和横移机构（43），所述承载台（42）固定在所述底座（41）上，所述承载台（42）用于承载工件，所述横移机构（43）设置在所述底座（41）上，所述外壳（1）设置在所述横移机构（43）上，所述横移机构（43）带动所述外壳（1）前后横移，使得输出孔可对承载台（42）上的工件进行喷淋；所述横移机构（43）包括直线电机（431）、连接架（432）、导轨（433）和第一旋转装置（434），所述第一旋转装置（434）设置在所述连接架（432）上，所述第一旋转装置（434）带动所述外壳（1）转动，所述第一旋转装置（434）的输出轴的轴线沿竖向设置，所述导轨（433）沿前后方向延伸，所述导轨（433）固定在所述底座（41）上，所述直线电机（431）设置在所述底座（41）上，所述直线电机（431）带动所述连接架（432）沿着所述导轨（433）前后运动；当基板宽度小于狭缝（13）的长度时，通过第一旋转装置（434）带动外壳（1）旋转，从而使得狭缝（13）的长度方向和基板的宽度方向存在夹角，以倾斜的方式刮走基板表面的液体时，刮板表面与液体接触具有先后顺序，使得初次接触液体时对比平齐于基板宽度的方式，刮板和液体之间所产生的应力更大，刮液效果更好。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 季华实验室 一种喷头和喷淋设备