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申请/专利权人：武汉华威科智能技术有限公司

摘要：本发明提供一种曲面分片式的柔性传感器以及敏感层的制作方法，所述包括柔性传感器包括利用支撑隔离层进行区域分片式划分形成的多个感应单元；每个感应单元均包括柔性电极层和敏感层，每个感应单元的柔性电极层通过一层或者多层金属镀膜连接；柔性电极层为两层结构或者三层结构；其中，两层结构包括柔性薄膜和设置在柔性薄膜上表面的金属镀膜；三层结构包括柔性薄膜和设置在所述柔性薄膜上表面和下表面的金属镀膜；支撑隔离层包括支撑隔离体，以及设置在其上下面的粘性材料；其中，支撑隔离体下表面的粘性材料与柔性电极层上表面的金属镀膜连接，支撑隔离体上表面的粘性材料与敏感层连接。本发明的柔性传感器具有更高的灵敏度以及可靠性。

主权项：1.一种曲面分片式的柔性传感器，其特征在于，所述柔性传感器包括利用支撑隔离层进行区域分片式划分形成的多个感应单元；每个感应单元均包括柔性电极层和敏感层，柔性电极层和敏感层之间有支撑隔离层维持的间隙，并且每个感应单元的柔性电极层通过一层或者多层金属镀膜连接；所述柔性电极层为两层结构或者三层结构；其中，两层结构包括柔性薄膜和设置在所述柔性薄膜上表面的金属镀膜；三层结构包括柔性薄膜和设置在所述柔性薄膜上表面和下表面的金属镀膜；所述支撑隔离层的硬度和刚度都大于柔性电极层与敏感层，包括支撑隔离体以及设置在所述支撑隔离体上表面和下表面的粘性材料；其中，所述支撑隔离体为中空结构；其中，支撑隔离体下表面的粘性材料与柔性电极层上表面的金属镀膜连接，支撑隔离体上表面的粘性材料与敏感层连接；所述柔性电极层的上表面布置有至少一条正极电路和至少一条负极电路；每条正极电路和每条负极电路均是基于阵列排布的金属镀膜图案形成的；其中，阵列排布的金属镀膜图案是对金属镀膜进行半导体工艺处理后形成的；在敏感层未受到外界压力的情况下，每条正极电路与每条负极电路之间未形成通路；在敏感层受到外界压力接触到柔性电极层的情况下，存在正极电路与负极电路之间通过敏感层形成通路；在所述柔性电极层为三层结构的情况下，所述正极电路是由沿第一方向分布的连续的金属镀膜图案形成的；所述负极电路是由沿第二方向分布的多个间断的金属镀膜图案形成的；以及，所述负极电路中的多个间断的金属镀膜图案由过孔的方式，在所述柔性电极层的下表面通过连续的金属镀膜图案实现串联连接。

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