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申请/专利权人：合肥通用机械研究院有限公司;国机特种设备检验有限公司;合肥通用机械研究院特种设备检验站有限公司

摘要：本发明涉及垫片泄漏率检测技术领域，具体是一种密封垫片泄漏率测试方法。本发明确定了质量流量法、差压法、氦质谱检漏法各自精度的最优范围；同时在测漏的过程中，采用多次测量取平均值及计算变异系数的方式，将二者体积相同的密封腔与平衡腔同时布置在上压板内，减少了外界环境因素对差压法测漏的影响。同时，设计了小容积的集漏腔，有利于增大氦质谱仪真空度，进一步提高垫片泄漏率测量精度。

主权项：1.一种密封垫片泄漏率测试方法，其特征在于，该测试方法包含泄漏率测量系统，所述泄漏率测量系统包括彼此配合从而在载荷加载系统（6）的作用下以目标载荷夹紧被测垫片（13）的上压板（4）和下压板（12），上压板（4）、被测垫片（13）和下压板（12）围合形成的空间构成密封腔（14），密封腔（14）通过高压侧管路及开关阀门连通高压气源（8）；上压板（4）或下压板（12）处布置有体积与密封腔（14）体积相同的中空腔体状的平衡腔（5），平衡腔（5）通过平衡侧管路及开关阀门连通高压气源（8）；在平衡侧管路与高压侧管路之间桥接有用于测量两管路压差的差压传感器（11），以及测量在测漏操作中从平衡腔（5）流向密封腔（14）的气体质量流量的质量流量计（10）；平衡侧管路和密封侧管路上均设置用于测量当前腔体内部气体压力的压力传感器（2）；平衡腔（5）和密封腔（14）之间设置有温度传感器（7）；被测垫片（13）的外侧布置有用于收集泄漏的气体的集漏腔（15），集漏腔（15）处布置有氦质谱仪（16），且氦质谱仪（16）的检漏管路与集漏腔（15）连接；该测试方法包括以下步骤：S1、通过载荷加载系统（6）施加目标载荷，以使上压板（4）和下压板（12）彼此配合夹紧被测垫片（13），并构成密封腔（14）；S2、通过高压气源（8）同时向密封腔（14）和平衡腔（5）内通入氦气，并使密封腔（14）和平衡腔（5）内的气体压力均达到目标压力，之后对密封腔（14）和平衡腔（5）进行一级保压；S3、一级保压结束后，开始一级测漏操作；首先依次等时间间隔读取质量流量计（10）的示数，然后通过高泄漏率计算公式计算每级示数对应的气体泄漏率，最后取全部气体泄漏率的平均值；若该平均值大于10-2cm3s，则该平均值即为被测垫片（13）的泄漏率；反之，则进行步骤S4的操作；S4、关闭质量流量计（10），隔绝密封腔（14）和平衡腔（5），然后对密封腔（14）和平衡腔（5）进行二级保压；二级保压结束后，开始二级测漏操作；首先依次等时间间隔读取温度传感器（7）、差压传感器（11）和氦质谱仪（16）的示数，然后利用中泄漏率计算公式计算各个示数对应的气体泄漏率，并取平均值；若该平均值大于10-5cm3s，则该平均值即为被测垫片（13）的泄漏率；反之，则进行步骤S5的操作；S5、打开质量流量计（10），连通密封腔（14）和高压气源（8），进行三级测漏操作；首先依次等时间间隔读取氦质谱仪（16）的示数，利用低泄漏率计算公式计算各个示数对应的气体泄漏率，并取平均值；同时，计算氦质谱仪（16）示数的标准差与平均值的比值，并将该比值记为变异系数，直至该平均值大于10-10cm3s，且该变异系数不大于0.05，则该平均值即为被测垫片（13）的泄漏率；反之，则此时泄漏率测量结果不稳定，需继续进行三级测漏操作，直至变异系数不大于0.05。

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