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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：此处所述的实施例关于提供较短且对称的路径的接地路径系统，用于将射频RF能量传播至接地以减少寄生等离子体的产生。接地路径系统将腔室的处理容积分叉以形成内部容积，内部容积隔绝处理容积的外部容积。
主权项：1.一种接地路径系统，包括：腔室，具有处理容积；底座，通过耦接至升降系统的杆布置于所述处理容积中，所述升降系统配置成在抬升处理位置及降低位置之间移动所述底座；接地杯体，耦接至所述杆和所述处理容积中的所述底座，所述杆布置成穿过所述腔室的开口；热屏障，将所述接地杯体耦接至所述底座；抽吸板，布置于所述处理容积中；底部杯体，具有布置于所述处理容积中的第一部分和布置成穿过所述腔室的开口的第二部分；底部杯体载具，耦接至轨道，所述底部杯体载具配置成沿着所述轨道线性移动，以在接地位置及传送位置之间移动所述底部杯体，所述底部杯体在所述接地位置中接触所述抽吸板，所述底部杯体通过接地杯体导体耦接至所述接地杯体，且所述底部杯体通过底部杯体导体耦接至所述腔室。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于提供较短且对称的接地路径的接地路径系统
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