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一种光栅周期失配设计的光栅干涉波前检测方法及装置 

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申请/专利权人:中国科学院高能物理研究所

摘要:本发明公开了一种光栅周期失配设计的光栅干涉波前检测方法及装置。本发明可实现更加灵活的系统设计并有效提高波前检测精度。本方法为:1根据分束光栅周期P1和分析光栅周期P2确定泰伯条纹周期P′T,并根据X射线波长λ、泰伯级次m、P1和P′T计算得到微焦点X射线源到分束光栅的长度S、微焦点X射线源与分束光栅之间距离R以及分束光栅与分析光栅之间的距离d;其中P1>P′T>P2;2根据S、R、d搭建光栅干涉仪波前检测装置,分别测量有无待测样品时成像探测器上的莫尔条纹图像作为参考图、样品图;3根据参考图、样品图计算光线横向位移量δr,然后结合S、R、d计算出等效波前斜率α,对α积分得到样品的面形分布。

主权项:1.一种光栅周期失配设计的光栅干涉波前检测方法,其步骤包括:1根据分束光栅周期P1和分析光栅周期P2确定泰伯条纹周期PT′,并根据用于波前检测的X射线波长λ、泰伯级次m、P1和PT′计算得到光栅干涉仪波前检测装置中微焦点X射线源到分束光栅的长度S、所述微焦点X射线源与所述分束光栅之间距离R以及所述分束光栅与所述分析光栅之间的距离d;其中P1PT′P2;2根据计算得到的S、R、d搭建光栅干涉仪波前检测装置,调整所述分束光栅与所述分析光栅的滚角,使得所述分束光栅的泰伯条纹与所述分析光栅在成像探测器上形成莫尔条纹;将不加入待测样品时,所述成像探测器上的莫尔条纹图像作为参考图并发送给数据处理单元;将加入待测样品时,所述成像探测器上的莫尔条纹图像作为样品图并发送给数据处理单元;3所述数据处理单元根据所述参考图、样品图计算出光线的横向位移量δr,然后结合S、R、d计算出待测样品的等效波前斜率α,对α积分得到待测样品的面形分布。

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权利要求:

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